使用三坐标测量仪过程中存在误差，经统计，大致有以下5个方面的误差来源：
1.人为误差：在三坐标测量仪使用过程中肯定是需要人为的控制的，可是人不可避免会有一些的操作误差，特别是在使用手动型三坐标测量机时，因为测量过程需要人工的手动移动，难免会有些误差。而且这个误差与操作人员的熟练程度有很大的影响。
2.操作误差：使用测量仪器过程中，因安装、调节、布置、使用方法不对而导致的误差。
3.方法误差：由于对三坐标的测量理论掌握不熟练，导致一些测量方法用的不正确也可能造成误差。
4.三坐标本身误差：由于三坐标测量仪本身及其附件所引入，出于仪器的电气或机械性能不完善所产生的误差。高瑞三坐标提示比如：电桥中的标准电阻，示波器的探极线等都含有误差。仪器，仪表的零位偏移，刻度不准确，以及非线性等引起的误差均属于仪器误差。
5.坏境误差：由湿度、温度、气压、声音、震动、光、放射性等影响所造成的误差。
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